Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/7959
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorДостанко, А. П.-
dc.contributor.authorТелеш, Е. В.-
dc.contributor.authorТхостов, М. Х.-М.-
dc.contributor.authorТитова, В. М.-
dc.date.accessioned2016-07-08T08:19:20Z
dc.date.accessioned2017-07-25T08:07:50Z-
dc.date.available2016-07-08T08:19:20Z
dc.date.available2017-07-25T08:07:50Z-
dc.date.issued2015-
dc.identifier.citationПлазменный синтез тонкопленочных покрытий в режиме ионно-пучкового фокуса : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель А. П. Достанко ; отв. исполнитель Е. В. Телеш . – Минск , 2015. – 58 с. - № ГР 20143818ru_RU
dc.identifier.govdoc№ ГР 20143818-
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/7959-
dc.description.abstractВ процессе выполнения НИР разработаны и исследованы процессы плазменного синтеза тонкопленочных покрытий их диоксида и нитрида кремния и алмазоподобного углерода.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherБГУИРru_RU
dc.relation.ispartofseries№ 14–3104;-
dc.subjectотчеты о НИРru_RU
dc.subjectвторичный разрядru_RU
dc.subjectионно-пучковый фокусru_RU
dc.subjectалмазоподобные пленкиru_RU
dc.subjectускоритель с анодным слоемru_RU
dc.subjectдиоксид кремнияru_RU
dc.subjectэлектрофизические характеристикиru_RU
dc.titleПлазменный синтез тонкопленочных покрытий в режиме ионно-пучкового фокуса : отчет о НИР (заключ.)ru_RU
dc.typeTechnical Reportru_RU
Appears in Collections:Отчеты о НИР 2015

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
№ ГР 20143818 (14-3104)_Рук_НИР_Достанко.pdf
  Restricted Access
2.15 MBAdobe PDFView/Open Request a copy
Show simple item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.