https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/8372| Title: | Разработка и исследование золь материалов различного состава для формирования керамических пленок, процессов нанесения керамических пленок различного состава методом ВЧ магнетронного распыления. Оптимизация состава мишеней для формирования керамических пленок методом магнетронного распыления, изготовление мишеней : отчет о НИР (заключ.) |
| Authors: | Завадский, С. М. Голосов, Д. А. Руденко, М. В. |
| Keywords: | отчеты о НИР;сегнетоэлектрики;конденсаторные структуры;сегнетоэлектрическая энергонезависимая память;магнетронное распыление;золь-гель процесс |
| Issue Date: | 2012 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Разработка и исследование золь материалов различного состава для формирования керамических пленок, процессов нанесения керамических пленок различного состава методом ВЧ магнетронного распыления. Оптимизация состава мишеней для формирования керамических пленок методом магнетронного распыления, изготовление мишеней ( заключительный ) : отчеты о НИР / БГУИР; научный руководитель С. М. Завадский; отв. исполнитель Д. А. Голосов. – Минск, 2012. – 71 с. - № ГР 20120375 |
| Series/Report no.: | ГБЦ 11-1070Б; |
| Abstract: | Представлены результаты исследований процессов нанесения тонкопленочных слоев цирконата-титаната свинца и танталата стронция-висмута методом ВЧ магнетронного распыления. Установлены зависимости элементного состава нанесенных пленок от параметров процесса распыления и отжига. Исследованы электрофизические свойства конденсаторных структур на основе керамических сегнетоэлектрических тонких пленок. Проведена оптимизация состава мишеней для формирования керамических пленок заданного состава методом магнетронного распыления. |
| Gov't Doc #: | № ГР 20120375 |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/8372 |
| Appears in Collections: | Отчеты о НИР 2012 |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| № ГР 20120375 (11-1070Б)_Рук_НИР_Завадский.pdf Restricted Access | 104.45 MB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.