https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/8452| Название: | Исследование процесса ВЧ магнетронного формирования сегнетоэлектрических пленок и свойств конденсаторных структур на их основе: отчет о НИР (заключ.) |
| Авторы: | Завадский, С. М. Голосов, Д. А. |
| Ключевые слова: | отчеты о НИР;сегнетоэлектрики;танталат стронция-висмута;конденсаторные структуры;элементный состав;стехиометрия |
| Дата публикации: | 2013 |
| Издательство: | БГУИР |
| Описание: | Исследование процесса ВЧ магнетронного формирования сегнетоэлектрических пленок и свойств конденсаторных структур на их основе(заключительный) : отчет о НИР / БГУИР; научный руководитель С. М. Завадский ; отв. исполнитель Д. А. Голосов . – Минск, 2013. – 45 с. - № ГР 20121590 |
| Серия/номер: | ГБЦ 12-1010Б; |
| Аннотация: | Установлены зависимости элементного состава нанесенных пленок от параметров процесса распыления и отжига. Проведена оптимизация состава мишеней для формирования керамических пленок заданного состава методом магнетронного распыления. Исследованы электрофизические свойства конденсаторных структур на основе керамических сегнетоэлектрических тонких пленок. |
| Гос. док-т: | № ГР 20121590 |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/8452 |
| Располагается в коллекциях: | Отчеты о НИР 2013 |
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| № ГР 20121590 (12-1010Б)_Рук_НИР_Завадский.pdf Restricted Access | 6.69 MB | Adobe PDF | Открыть Запрос копии |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.