Исследование процесса ВЧ магнетронного формирования сегнетоэлектрических пленок и свойств конденсаторных структур на их основе: отчет о НИР (заключ.)

Завадский, С. М.; Голосов, Д. А.

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Завадский, С. М.	-
dc.contributor.author	Голосов, Д. А.	-
dc.date.accessioned	2016-08-31T12:13:11Z
dc.date.accessioned	2017-07-19T12:59:37Z	-
dc.date.available	2016-08-31T12:13:11Z
dc.date.available	2017-07-19T12:59:37Z	-
dc.date.issued	2013	-
dc.identifier.citation	Исследование процесса ВЧ магнетронного формирования сегнетоэлектрических пленок и свойств конденсаторных структур на их основе(заключительный) : отчет о НИР / БГУИР; научный руководитель С. М. Завадский ; отв. исполнитель Д. А. Голосов . – Минск, 2013. – 45 с. - № ГР 20121590	ru_RU
dc.identifier.govdoc	№ ГР 20121590	-
dc.identifier.uri	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/8452	-
dc.description.abstract	Установлены зависимости элементного состава нанесенных пленок от параметров процесса распыления и отжига. Проведена оптимизация состава мишеней для формирования керамических пленок заданного состава методом магнетронного распыления. Исследованы электрофизические свойства конденсаторных структур на основе керамических сегнетоэлектрических тонких пленок.	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	БГУИР	ru_RU
dc.relation.ispartofseries	ГБЦ 12-1010Б;	-
dc.subject	отчеты о НИР	ru_RU
dc.subject	сегнетоэлектрики	ru_RU
dc.subject	танталат стронция-висмута	ru_RU
dc.subject	конденсаторные структуры	ru_RU
dc.subject	элементный состав	ru_RU
dc.subject	стехиометрия	ru_RU
dc.title	Исследование процесса ВЧ магнетронного формирования сегнетоэлектрических пленок и свойств конденсаторных структур на их основе: отчет о НИР (заключ.)	ru_RU
dc.type	Technical Report	ru_RU
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2013