Skip navigation

Browsing by Author Демидович, С. А.

Jump to: 0-9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z
А Б В Г Д Е Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я
 
Showing results 3 to 3 of 3 < previous 
Issue DateTitleAuthor(s)
2024Управление механическими напряжениями в пленках SiNx при осаждении из смеси SiH4-NH3-He в индуктивно-связанной плазмеКовальчук, Н. С.; Демидович, С. А.; Власукова, Л. А.; Пархоменко, И. Н.