Skip navigation

Browsing by Author Емельянов, В. В.

Jump to: 0-9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z
А Б В Г Д Е Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я
 
Showing results 5 to 13 of 13 < previous 
Issue DateTitleAuthor(s)
2023Пассивация токопроводящей системы интегральных схем слоем нитрида алюминияЕмельянов, В. В.
2019Селективное плазмохимическое травление нитрида кремния к диоксиду кремнияЕмельянов, В. В.
2019Селективное плазмохимическое травление нитрида кремния к диоксиду кремнияЕмельянов, В. В.; Бордусов, С. В.
2018Технология плазмохимического травления нитрида кремния при создании изоляции LOCOS для полупроводниковых приборов субмикронных проектных нормЕмельянов, В. В.
2020Технология селективного плазмохимического травления нитрида кремния к поликристаллическому кремниюЕмельянов, В. В.
2021Технология селективного реактивно-ионного травления нитрида кремния к поликристаллическому кремниюЕмельянов, В. В.
2022Формирование функциональных слоев нитрида кремния селективным плазмохимическим травлениемЕмельянов, В. В.
2021Формирование стабильной дефектной структуры в кремениевых диодах генераторах шумаЕмельянов, В. В.; Емельянов, В. А.; Баранов, В. В.; Буслюк, В. В.
2022Формирование функционального слоя интегральной микросхемы реактивно-ионным травлениемЕмельянов, В. В.