Skip navigation

Browsing by Author Ковальчук, Н. С.

Jump to: 0-9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z
А Б В Г Д Е Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я
 
Showing results 9 to 21 of 21 < previous 
Issue DateTitleAuthor(s)
2018Оперативный анализ загрязнений кремниевых пластин рекомбинационно-активными примесями в производстве интегральных микросхемСолодуха, В. А.; Шведов, С. В.; Чигирь, Г. Г.; Петлицкий, А. Н.; Пилипенко, В. А.; Ковальчук, Н. С.; Петлицкая, Т. В.; Филипеня, В. А.; Солодуха, В. А.
2009Оптимизированная конструкция датчика газового анализатора с уменьшенным энергопотреблениемРубцевич, И. И.; Ковальчук, Н. С.
2008Пленки нитрида кремния с низкими механическими напряжениями для микроэлектромеханических системКовальчук, Н. С.
2017Проектирование и производство изделий электронной техники : пособиеДостанко, А. П.; Голосов, Д. А.; Завадский, С. М.; Соловьев, Я. А.; Ковальчук, Н. С.; Мельников, С. Н.; Стасишина, А. М.; Ермоленко, М. В.
2018Современные методы и оборудование для исследования полупроводниковых структур микро- и наноэлектроники в центре коллективного пользования "Белмикроанализ" ОАО"ИНТЕГРАЛ"Солодуха, В. А.; Петлицкий, А. Н.; Петлицкая, Т. В.; Пилипенко, В. А.; Ковальчук, Н. С.
2023Соединение пластин кремния стеклообразным нанокомпозитом, формируемым золь-гель методомГайшун, В. Е.; Косенок, Я. А.; Васькевич, В. В.; Тюленкова, О. И.; Борисенко, В. Е.; Ковальчук, Н. С.; Петлицкий, А. Н.; Чумак, С. В.
2017Специфика преподавания технологических дисциплин в вузе и на курсах повышения квалификацииКотов, Д. А.; Черных, А. Г.; Ковальчук, Н. С.
2020Технологические процессы осаждения и травления в технологии изготовления ИМС и МЭМС : учебно-методическое пособиеКотов, Д. А.; Родионов, Ю. А.; Ясюнас, А. А.; Ковальчук, Н. С.
2024Управление механическими напряжениями в пленках SiNx при осаждении из смеси SiH4-NH3-He в индуктивно-связанной плазмеКовальчук, Н. С.; Демидович, С. А.; Власукова, Л. А.; Пархоменко, И. Н.
2011Физико-химические процессы производства изделий интегральной электроники: лаборатор. практикум по дисциплинам «Конструирование и технология изд. интеграл. электроники», «Физ.- хим. основы материалов и электрон. компонентов» для студентов специальностей «Проектирование и пр-во РЭС», «Электронно-оптические системы и технологии», «Электронные системы безопасности»Ануфриев, Л. П.; Достанко, А. П.; Касинский, Н. К.; Ковальчук, Н. С.; Коробко, А. О.; Ланин, В. Л.; Соловьев, Я. А.; Томаль, В. С.; Русецкий, А. М.
2021Формирование подзатворного диэлектрика нанометровой толщины методом быстрой термообработкиКовальчук, Н. С.; Омельченко, А. А.; Пилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Шестовский, Д. В.
2018Экспрессный контроль надежности подзатворного диэлектрика интегральных микросхем по величине пробивного напряжения при разных скоростях разверткиСолодуха, В. А.; Шведов, С. В.; Ковальчук, Н. С.; Чигирь, Г. Г.; Петлицкий, А. Н.
2011Электрофизические процессы и оборудование в технологии микро– и наноэлектроникиДостанко, А. П.; Русецкий, А. М.; Бордусов, С. В.; Ланин, В. Л.; Ануфриев, Л. П.; Карпович, С. В.; Жарский, В. В.; Плебанович, В. И.; Адамович, А. Л.; Грозберг, Ю. А.; Голосов, Д. А.; Завадский, С. М.; Соловьев, Я. А.; Дайняк, И. В.; Ковальчук, Н. С.; Петухов, И. Б.; Телеш, Е. В.; Мадвейко, С. И.