Репозиторий БГУИР: Browsing DSpace

Browsing by Author Ясюнас, А. А.

Jump to: 0-9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z
А Б В Г Д Е Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я
or enter first few letters:

Showing results 4 to 9 of 9 < previous

Issue Date	Title	Author(s)
2010	Плазмохимическое травление в технологии производства МЭМС	Ясюнас, А. А.; Тымощик, А. С.; Ковальчук, Н. В.; Котов, Д. А.
2014	Разработка и исследование магнитных систем источников ионов, источников плазмы и магнетронных распылительных устройств : отчет о НИР (заключ.)	Котов, Д. А.; Ясюнас, А. А.; Комар, О. М.; Роговский, Е. П.; Савич, В. А.
2012	Разработка источника плазмы высокой плотности на основе индуктивно-связанного разряда и постановка технологии плазмохимического травления для формирования топологии кристаллов изделий силовой электроники : отчет о НИР (заключ.)	Котов, Д. А.; Ясюнас, А. А.; Родионов, Ю. А.; Комар, О. М.
2015	Разработка технологического комплекса и технологии формирования наноструктурированного диоксида кремния с применением плазмы высокой плотности : отчет о НИР (заключ.)	Котов, Д. А.; Ясюнас, А. А.
2020	Технологические процессы осаждения и травления в технологии изготовления ИМС и МЭМС : учебно-методическое пособие	Котов, Д. А.; Родионов, Ю. А.; Ясюнас, А. А.; Ковальчук, Н. С.
2020	Технология и особенности построения оборудования для формирования наноструктурированных гидрофобных и износостойких оптических покрытий для видимого спектрального диапазона	Ясюнас, А. А.

Showing results 4 to 9 of 9 < previous