Browsing by Author Власукова, Л. А.
Showing results 1 to 2 of 2
| Issue Date | Title | Author(s) |
| 2011 | Исследование закономерностей формирования германосиликатного стекла в процессе термической обработки поликристаллических пленок кремния, легированных германием | Строгова, Н. С.; Строгова, А. С.; Ковалевский, А. А.; Цыбульский, В. В.; Власукова, Л. А.; Борисевич, В. М. |
| 2024 | Управление механическими напряжениями в пленках SiNx при осаждении из смеси SiH4-NH3-He в индуктивно-связанной плазме | Ковальчук, Н. С.; Демидович, С. А.; Власукова, Л. А.; Пархоменко, И. Н. |
