https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1326| Название: | Фотолитография на пленочных структурах ксерогель/пористый анодный оксид алюминия, сформированных в различных электролитах |
| Другие названия: | Photolithography of film structures xerogel/porous anodic alumina prepared in various electrolytes |
| Авторы: | Хорошко, Л. С. Ашариф, А. М. Ореховская, Т. И. Меледина, М. В. Сокол, В. А. Колосницын, Б. С. Гапоненко, Н. В. |
| Ключевые слова: | доклады БГУИР;пористый анодный оксид алюминия;золь-гель;фотолитография |
| Дата публикации: | 2014 |
| Издательство: | БГУИР |
| Описание: | Фотолитография на пленочных структурах ксерогель/пористый анодный оксид алюминия, сформированных в различных электролитах / Л. С. Хорошко [ и др.] // Доклады БГУИР. - 2014. - № 3 (81). - С. 101 - 105. |
| Аннотация: | Приведены результаты исследования морфологии микроструктурированных пленок пористого анодного оксида алюминия, сформированных с применением электрохимического анодирования, золь-гель синтеза, фотолитографии и химического травления. Для выполнения фотолитографии защитная металлическая маска не использовалась за счет формирования сплошной пленки ксерогеля. Обсуждаются перспективы применения таких структур в планарной оптоэлектронике и фотокатализе. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1326 |
| Располагается в коллекциях: | №3 (81) |
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Khoroshko_Fotolitografiya.pdf | 835.14 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.