Skip navigation

Search


Current filters:
Start a new search
Add filters:

Use filters to refine the search results.


Results 1-7 of 7 (Search time: 0.0 seconds).
  • previous
  • 1
  • next
Item hits:
Issue DateTitleAuthor(s)
2000Разработка и исследование прецизионных координатных систем на базе линейных шаговых двигателей для электронного машиностроенияМежинский, Ю. С.; Mezhinsky Yu. S.
2012Реконфигурируемые механизмы параллельной кинематики для многокоординатных систем перемещений в сборочном и оптико-механическом оборудовании микроэлектроникиЛитвинов, Е. А.; Litvinov, Y. A.
2007Система прецизионных пространственных перемещений на основе планарных приводов прямого действия для оборудования производства изделий электронной техникиАгранович, А. А.; Ahranovich, A. A.
2006Двухкоординатная система перемещений для сборочного оборудования производства изделий микроэлектроникиАзентани, Дау Мохамед; Azentani, Daw Mohamed
2002Методы автоматического контроля топологии планарных структур и их реализация в электронном машиностроенииАваков, С. М.; Avakow, S. M.
2002Построение систем перемещений на основе двухкоординатных позиционеров для гибкого автоматизированного оборудованияСтепанов, С. Е.
2005Формирование субмикронных кмоп структур с повышенной точностью критических размеров методами проекционной фотолитографииКоробко, Ю. О.; Korobko, Y. O.