https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27760| Название: | Исследовать закономерности электрохимических процессов формирования медных стержней в отверстиях с большим аспектным числом внутри кремниевых пластин, соединяющих эти пластины в 3d-структуры ИМС : отчет о НИР (заключ.) |
| Авторы: | Хмыль, А. А. Кушнер, Л. К. Кузьмар, И. И. Богуш, Н. В. Бранцевич, В. К. |
| Дата публикации: | 2014 |
| Издательство: | БГУИР |
| Описание: | Исследовать закономерности электрохимических процессов формирования медных стержней в отверстиях с большим аспектным числом внутри кремниевых пластин, соединяющих эти пластины в 3d-структуры ИМС : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель А. А. Хмыль ; отв. исполнитель Л. К. Кушнер.– Минск, 2014. – 45 с. - № ГР 20113907 |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27760 |
| Располагается в коллекциях: | Отчеты о НИР 2014 |
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| № ГР 20113907 (11-3065)_Рук_НИР_Хмыль.pdf Restricted Access | 7.09 MB | Adobe PDF | Открыть Запрос копии |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.