https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31029| Title: | Механизм формирования монослойного наноструктурированного покрытия компрессионным плазменным потоком |
| Other Titles: | Mechanism of formation of surface nanosrtuctured metal-based coating by compressing plasma flow |
| Authors: | Квасов, Н. Т. Данилюк, А. Л. Пунько, А. В. Углов, В. В. Анищик, В. М. Черенда, Н. Н. Свешников, Ю. В. Асташинский, В. М. Ананин, С. И. Костюкевич, Е. А. Кузьмицкий, А. М. |
| Keywords: | доклады БГУИР;наноструктурированное покрытие;кремний;плазма;компрессионный поток |
| Issue Date: | 2006 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Механизм формирования монослойного наноструктурированного покрытия компрессионным плазменным потоком / Н. Т. Квасов и другие // Доклады БГУИР. - 2006. - № 2 (14). - С. 94 - 102. |
| Abstract: | Предложена модель формирования на поверхности кремния наноструктурированного ме- таллического покрытия при воздействии импульса компрессионной плазмы. Получены оценки размера и заряда металлических частиц в плазме, рассчитаны параметры потенциала притяжения между заряженными частицами. Решено кинетическое уравнение, характери- зующее эволюцию параметра порядка при росте частиц металла. Показано, что в данных условиях в результате испарения и коагуляции образуются металлические кластеры размером порядка 30 нм, которые затем объединяются в частицы с размером до 300 нм и осаждаются на поверхность кремния из ударно-сжатого слоя, образуя монослой. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31029 |
| Appears in Collections: | №2 (14) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Kvasov_Mechanism.pdf | 777.56 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.