Влияние процесса оплавления легкоплавких стекол на их зарядовые свойства и перераспределение примеси в ионно-легированных слоях

Abstract

Представлены результаты по влиянию процесса оплавления легкоплавких стекол методом быстрой термической обработки (БТО) на их зарядовые свойства и перераспределение примеси в ранее сформированных ионно-легированных слоях. Приведены данные по распределению объемной плотности заряда по толщине пленок фосфоросиликатного (ФСС) и борофосфоросиликатного (БФСС) стекол, а также зависимости поверхностного сопротивления и глубины залегания p−n–перехода от режима оплавления. Рассмотрены проблемы построения измерительной аппаратуры для проверки тепловизионных приборов. Описаны конструкция, характеристики, а также используемые тест-объекты и методы проверки тепловизионных приборов с помощью разработанного стенда.