https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33239| Название: | Исследование свойств тонких пленок ниобия для формирования столбиковых структур |
| Другие названия: | Investigation of properties of thin niobium films for formation of column structures |
| Авторы: | Циркунова, Н. Г. Лазарук, С. К. Ухов, В. А. Борисенко, В. Е. |
| Ключевые слова: | доклады БГУИР;атомно-силовая микроскопия;модификация поверхности;параметры поверхности |
| Дата публикации: | 2010 |
| Издательство: | БГУИР |
| Описание: | Исследование свойств тонких пленок ниобия для формирования столбиковых структур / Н. Г. Циркунова и др. // Доклады БГУИР. - 2010. - № 3 (49). - С. 51 - 56. |
| Аннотация: | Показана возможность формирования наноразмерных столбиковых структур кремния высотой до 1 мкм с использованием в качестве маски при травлении наноструктурированных пленок ниобия толщиной 15–200 нм, а также влияние исходной толщины ниобиевой пленки, наносимой магнетронным распылением, на размер зерна и геометрические размеры островков масочного слоя. |
| Аннотация на другом языке: | This work is oriented on investigation of possibility of formation nanosize column structures on the basis of thin niobium films. Influence of an initial thickness Nb film received by magnetron sputtering, upon the size of grain and the geometrical sizes of islets of mask layer, formed by dispersion is shown. As methods of surface research we used raster electronic microscope and atomic force Microscope. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33239 |
| Располагается в коллекциях: | №3 (49) |
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Tsirkunova_Investigation.PDF | 568.07 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.