https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/3696| Title: | Диэлектрические характеристики конденсаторных структур на основе пленок титаната стронция, сформированных золь-гель методом |
| Other Titles: | Dielectrical characteristics of capacitor structures on the basis of sol-gel derived strontium titanate films |
| Authors: | Сохраби Анараки, Х. Гапоненко, Н. В. Руденко, М. В. Завадский, С. М. Голосов, Д. А. Гук, А. Ф. Колос, В. В. Петлицкий, А. Н. Турцевич, А. С. |
| Keywords: | доклады БГУИР;золь-гель;титанат стронция;конденсатор |
| Issue Date: | 2014 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Диэлектрические характеристики конденсаторных структур на основе пленок титаната стронция, сформированных золь-гель методом / Х. Сохраби Анараки [ и др.] // Доклады БГУИР. - 2014. - № 7 (85). - С. 28 - 31. |
| Abstract: | Сформированы тонкопленочные конденсаторы на подложках кремния. Основу конденсатора составляет многослойная пленка титаната стронция, полученная золь-гель методом при температурах отжига 750–800 °С. Нижний электрод сформирован из платины, верхний – из никеля. Средние значения диэлектрической проницаемости и тангенса угла диэлекрических потерь лежат в пределах 150–190 и 0,06–0,1 соответственно. Приведены значения среднеквадратического отклонения указанных величин. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/3696 |
| Appears in Collections: | №7 (85) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Sokhrabi_Dielektricheskiye.PDF | 712.01 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.