https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/3696
Название: | Диэлектрические характеристики конденсаторных структур на основе пленок титаната стронция, сформированных золь-гель методом |
Другие названия: | Dielectrical characteristics of capacitor structures on the basis of sol-gel derived strontium titanate films |
Авторы: | Сохраби Анараки, Х. Гапоненко, Н. В. Руденко, М. В. Завадский, С. М. Голосов, Д. А. Гук, А. Ф. Колос, В. В. Петлицкий, А. Н. Турцевич, А. С. |
Ключевые слова: | доклады БГУИР;золь-гель;титанат стронция;конденсатор |
Дата публикации: | 2014 |
Издательство: | БГУИР |
Описание: | Диэлектрические характеристики конденсаторных структур на основе пленок титаната стронция, сформированных золь-гель методом / Х. Сохраби Анараки [ и др.] // Доклады БГУИР. - 2014. - № 7 (85). - С. 28 - 31. |
Аннотация: | Сформированы тонкопленочные конденсаторы на подложках кремния. Основу конденсатора составляет многослойная пленка титаната стронция, полученная золь-гель методом при температурах отжига 750–800 °С. Нижний электрод сформирован из платины, верхний – из никеля. Средние значения диэлектрической проницаемости и тангенса угла диэлекрических потерь лежат в пределах 150–190 и 0,06–0,1 соответственно. Приведены значения среднеквадратического отклонения указанных величин. |
URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/3696 |
Располагается в коллекциях: | №7 (85) |
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Sokhrabi_Dielektricheskiye.PDF | 712.01 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.