https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37296| Название: | Селективное плазмохимическое травление нитрида кремния к диоксиду кремния |
| Авторы: | Емельянов, В. В. |
| Ключевые слова: | материалы конференций;плазмохимическое травление;ВЧ генератор;селективность |
| Дата публикации: | 2019 |
| Издательство: | БГУИР |
| Описание: | Емельянов, В. В. Селективное плазмохимическое травление нитрида кремния к диоксиду кремния / Емельянов В. В. // Электронные системы и технологии : 55-я юбилейная конференция аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22-26 апреля 2019 г. : сборник тезисов докладов / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск : БГУИР, 2019. – С. 293-294. |
| Аннотация: | Описаны результаты эксперимента по увеличению селективности нитрида кремния к диоксиду кремния. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37296 |
| Располагается в коллекциях: | Электронные системы и технологии : материалы 55-й юбилейной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2019) |
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Emelyanov_Selektivnoye.pdf | 1.03 MB | Adobe PDF | Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.