https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37997| Title: | Алгоритмическое обеспечение для оптического контроля критических размеров полупроводниковых пластин СБИС |
| Other Titles: | Algorithmic support for optical inspection of critical dimensions on vlsi semiconductor wafers |
| Authors: | Дудкин, А. А. Воронов, А. А. Ганченко, В. В. Инютин, А. В. Марушко, Е. Е. |
| Keywords: | материалы конференций;полупроводниковые пластины;оптический контроль;цифровые изображения;semiconductor chips;optical inspection;digital images |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Алгоритмическое обеспечение для оптического контроля критических размеров полупроводниковых пластин СБИС / Дудкин А. А. [и др.] // Телекоммуникации: сети и технологии, алгебраическое кодирование и безопасность данных = Telecommunications: Networks and Technologies, Algebraic Coding and Data Security : материалы международного научно-технического семинара, Минск, ноябрь-декабрь 2019 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; ред. Бобов М. Н. [и др.]. – Минск : БГУИР, 2019. – С. 34–38. |
| Abstract: | Приводится описание алгоритмического обеспечения программного комплекса управления оборудованием контроля критических размеров полупроводниковых пластин СБИС на базе систем компьютерного зрения. |
| Alternative abstract: | The description of algorithmic maintenance of the program complex of control equipment of the critical dimensions of semiconductor wafer plates on the basis of computer vision systems was given. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37997 |
| Appears in Collections: | Телекоммуникации 2019 |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Dudkin_Algoritmicheskoye.pdf | 703.32 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.