https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38587
Название: | Исследование влияния технеции в составе катализаторов из соединений РЗЭ на процесс разложения моногидридов кремния и германия |
Авторы: | Ковалевский, А. А. Строгова, А. С. Кузнецов, Д. Ф. Воронец, Я. С. Гранько, С. В. |
Ключевые слова: | публикации ученых;катализаторы;полиимидная мембрана;моногидриды;моносилан;эпитаксиальные пленки |
Дата публикации: | 2019 |
Издательство: | ООО «ИКЦ «Академкнига» |
Описание: | Исследование влияния технеции в составе катализаторов из соединений РЗЭ на процесс разложения моногидридов кремния и германия / Ковалевский А. А. [и др.] // Микроэлектроника. – 2019. – Т.48, №5. – С. 323 – 333. – DOI: 10.1134/S0544126919050053. |
Аннотация: | Статья посвящена установлению технеции в составе катализаторов из соединений РЗЭ на процесс разложения моногидридов кремния и германия при выращивании эпитаксиальных пленок кремния и твердого раствора кремний-германий. |
URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38587 |
Располагается в коллекциях: | Публикации в зарубежных изданиях |
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Kovalevskiy_Issledovaniye.pdf | 465.06 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.