https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42837| Title: | Конденсатор для интегральных микросхем |
| Other Titles: | Пат. 9178 U Респ. Беларусь |
| Authors: | Хмыль, А. А. Емельянов, А. В. Алиева, Н. В. Емельянов, В. А. Трусов, В. Л. Шикуло, В. Е. Сенько, С. Ф. |
| Keywords: | патенты;интегральные микросхемы;конденсаторы |
| Issue Date: | 2013 |
| Publisher: | Национальный центр интеллектуальной собственности |
| Citation: | Конденсатор для интегральных микросхем : пат. 9178 U Респ. Беларусь : МПК (2006) H 01L 29/94 / Хмыль А. А., Емельянов А. В., Алиева Н. В., Емельянов В. А., Трусов В. Л., Шикуло В. Е., Сенько С. Ф. ; заявитель и патентообладатель УО Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – № u 20120965 ; заявл. 06.11.2012 ; опубл. 30.04.2013. – 6 с. : ил. |
| Abstract: | Конденсатор для интегральных микросхем, содержащий нижнюю обкладку из легированного поликристаллического кремния, расположенную на диэлектрической пленке, сформированной на полупроводниковой подложке с активными элементами, пленку конденсаторного диэлектрика, состоящую из слоя диоксида кремния и слоя нитрида кремния, и верхнюю обкладку из легированного поликристаллического кремния, отличающийся тем, что дополнительно содержит слой оксинитрида кремния толщиной 1-5 нм, расположенный между слоем нитрида кремния и верхней обкладкой. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42837 |
| Appears in Collections: | Полезные модели |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.