https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/44416| Название: | Плазмохимическое осаждение оксида кремния при атмосферном давлении |
| Авторы: | Занько, А. И. Леонович, Н. В. |
| Ключевые слова: | материалы конференций;плазмохимическое осаждение;газовые фазы;атмосферное давление |
| Дата публикации: | 2021 |
| Издательство: | БГУИР |
| Описание: | Занько, А. И. Плазмохимическое осаждение оксида кремния при атмосферном давлении / Занько А. И., Леонович Н. В. // Радиотехника и электроника : сборник тезисов докладов 57-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, апрель 2021 года / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск : БГУИР, 2021. – С. 128. |
| Аннотация: | Проводилось плазмохимическое осаждение оксида кремния с использованием плазмы Ar+TEOS/Ar при атмосферном давлении. Стабилизация на воздухе параметров полученных пленок занимает порядка 15 дней, при этом наблюдается повышение показателя преломления с 1,4-1,45 до стехиометрического оксида кремния 1,46-1,47. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/44416 |
| Располагается в коллекциях: | Радиотехника и электроника : материалы 57-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2021) |
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Zanko_Plazmokhimicheskoye.pdf | 528.56 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.