| Title: | Интегрированные ионно-плазменные процессы формирования тонкопленочных структур на рельефных поверхностях |
| Other Titles: | The integrated ion plasma processes of thin film structures formation on complicated - relief surfaces |
| Authors: | Завадский, С. М. |
| Keywords: | авторефераты диссертаций;ион;пленка;магнетрон;ионно - лучевой источник;адгезия;оксид;рельеф;нанесение;распыление;ion;thin film;magnetron;ion beam source;adhesion;oxide;relief;deposition;sputtering |
| Issue Date: | 2002 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Завадский, С. М. Интегрированные ионно-плазменные процессы формирования тонкопленочных структур на рельефных поверхностях: автореф. дисс. ... кандидата технических наук : : автореф. дисс. ... кандидата технических наук : : автореф. дисс. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / С. М. Завадский; науч. рук. А.П. Достанко. - Мн.: БГУИР, 2002. - 24 с. |
| Abstract: | Объектом исследования являются интегрированные ионно-плазменные процессы формирования тонкопленочных структур из разряда в скрещенных ЕхН полях. Предметом исследования являются химико - физические процессы, закономерности и механизмы взаимодействия ионов и конденсирующегося материала, протекающие на поверхности различных подложек в процессе конденсации при ионно - плазменном нанесении тонкопленочных слоев и в условиях перераспыления. |
| Alternative abstract: | Object of investigation are development integrated ion plasma processes of thin film structures formation and systems for discharges with crossed ExH fields.Subject of investigation are physical - chemical processes regularity and mechanisms ions and condensing materials on the surface substrate during thin films deposition at the resputtering. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/5213 |
| Appears in Collections: | 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
|
