https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/9528
Название: | Модификация поверхности твердых тел в плазме тлеющего разряда на основе эффекта полого катода |
Авторы: | Козак, Н. В. |
Ключевые слова: | материалы конференций;ионно-плазменная модификация;твердые тела;плазма тлеющего разряда;полые катоды |
Дата публикации: | 2013 |
Издательство: | БГУИР |
Описание: | Козак, Н. В. Модификация поверхности твердых тел в плазме тлеющего разряда на основе эффекта полого катода / Н. В. Козак // Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных средств : сборник материалов 49-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 6–10 мая 2013 года / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Боднарь И. В. [и др.]. – Минск, 2013. – С. 5. |
Аннотация: | Рассматривается возможность модификации поверхностных слоев твердых тел в плазме тлеющего разряда на основе использования эффекта полого катода. |
URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/9528 |
Располагается в коллекциях: | Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 49-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2013) |
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Модификация поверхности.PDF | 490.02 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.