Browsing by Subject плазмохимическое травление
Showing results 1 to 10 of 10
| Issue Date | Title | Author(s) |
| 2021 | Анализ конструктивных решений плазменных реакторов используемых при производстве изделий электронной техники | Лях, А. С. |
| 2022 | Использование лазерной интерферометрии для определения времени окончания плазмохимического травления слоев p-GaN и AlGaN гетероструктуры p-GaN/AlGaN/GaN с двумерным электронным газом | Юник, А. Д.; Шидловский, А. Г. |
| 2013 | Исследование процессов плазменного проявления и удаления экспони-рованных лазером фоточувствительных материалов для разработки и освоения новой передовой технологии – вакуумной фотолитографии глубокого субмикрона: отчет о НИР (заключ.) | Баранов, И. Л.; Котов, Д. А.; Ясюнас, А. А.; Комар, О. М.; Корзун, К. А. |
| 2013 | Исследование процессов плазменного проявления и удаления экспонированных лазером фоточувствительных материалов для разработки и освоения новой передовой технологии – вакуумной фотолитографии глубокого субмикрона: отчет о НИР (заключ.) | Баранов, И. Л.; Котов, Д. А.; Ясюнас, А. А.; Комар, О. М.; Корзун, К. А. |
| 2010 | Плазмохимическое травление в технологии производства МЭМС | Ясюнас, А. А.; Тымощик, А. С.; Ковальчук, Н. В.; Котов, Д. А. |
| 2012 | Разработка источника плазмы высокой плотности на основе индуктивно-связанного разряда и постановка технологии плазмохимического травления для формирования топологии кристаллов изделий силовой электроники : отчет о НИР (заключ.) | Котов, Д. А.; Ясюнас, А. А.; Родионов, Ю. А.; Комар, О. М. |
| 2019 | Селективное плазмохимическое травление нитрида кремния к диоксиду кремния | Емельянов, В. В. |
| 2019 | Селективное плазмохимическое травление нитрида кремния к диоксиду кремния | Емельянов, В. В.; Бордусов, С. В. |
| 2020 | Технология селективного плазмохимического травления нитрида кремния к поликристаллическому кремнию | Емельянов, В. В. |
| 2022 | Формирование функциональных слоев нитрида кремния селективным плазмохимическим травлением | Емельянов, В. В. |
