Browsing by Subject СВЧ разряд
Showing results 1 to 7 of 7
Issue Date | Title | Author(s) |
2017 | Исследование влияния расположения пластин из различных материалов в объёме плазмы СВЧ разряда на СВЧ энергию между ними | Земляков, А. С. |
2022 | Исследование влияния электрических параметров импульсного источника питания СВЧ магнетрона на режимы генерации плазмы СВЧ разряда | Тихон, О. И.; Мадвейко, С. И.; Бордусов, С. В. |
2020 | Исследование влияния электрических характеристик источника питания СВЧ магнетрона на стабильность оптического излучения плазмы СВЧ разряда | Тодин, П. А. |
2020 | Исследование оптических характеристик СВЧ разряда в плазмотроне резонаторного типа при электропитании СВЧ магнетрона от источника постоянного тока | Тихон, О. И. |
2021 | Исследование распределения СВЧ мощности в плазмотроне резонаторного типа | Сабодаш, О. А. |
2021 | Исследование стабильности пульсирующего СВЧ разряда в объеме крупногабаритной плазменной камеры СВЧ плазмотрона резонаторного типа | Тодин, П. А. |
2014 | Процесс СВЧ плазмохимического удаления фоторезиста с поверхности кремниевых пластин | Бордусов, С. В.; Мадвейко, С. И.; Достанко, А. П. |