Skip navigation
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1674
Название: Процесс СВЧ плазмохимического удаления фоторезиста с поверхности кремниевых пластин
Авторы: Бордусов, С. В.
Мадвейко, С. И.
Достанко, А. П.
Ключевые слова: материалы конференций
СВЧ разряд
СВЧ плазмохимическая обработка
Дата публикации: 2014
Издательство: БГУИР
Библиографическое описание: Бордусов, С. В. Процесс СВЧ плазмохимического удаления фоторезиста с поверхности кремниевых пластин. // Международная научно-техническая конференция, приуроченная к 50-летию МРТИ-БГУИР (Минск, 18-19 марта 2014 года) : материалы конф. В 2 ч. Ч. 2. - Минск, 2014. - С. 192-193
Краткий осмотр (реферат): Представлены результаты исследований процесса СВЧ плазмохимического удаления фоторезиста с поверхности кремниевых пластин, который заключается в предварительном нагреве полупроводниковых пластин СВЧ энергией.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): http://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1674
https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1674
ISBN: 978-985-543-038-5
Располагается в коллекциях:Секция «Высокоэнергетические пучковые технологии и прецизионное оборудование в производстве изделий электроники и оптики»

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
процесс.pdf377,14 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.