Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1674
Title: Процесс СВЧ плазмохимического удаления фоторезиста с поверхности кремниевых пластин
Authors: Бордусов, С. В.
Мадвейко, С. И.
Достанко, А. П.
Keywords: материалы конференций;СВЧ разряд;СВЧ плазмохимическая обработка
Issue Date: 2014
Publisher: БГУИР
Citation: Бордусов, С. В. Процесс СВЧ плазмохимического удаления фоторезиста с поверхности кремниевых пластин / С. В. Бордусов, С. И. Мадвейко, А. П. Достанко // Международная научно-техническая конференция, приуроченная к 50-летию МРТИ-БГУИР : материалы конференции, Минск, 18–19 марта 2014 г. : в 2 ч. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: А. Н. Осипов [и др.]. – Минск, 2014. – Ч. 2. – C. 192–193.
Abstract: Представлены результаты исследований процесса СВЧ плазмохимического удаления фоторезиста с поверхности кремниевых пластин, который заключается в предварительном нагреве полупроводниковых пластин СВЧ энергией.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1674
ISBN: 978-985-543-038-5
Appears in Collections:Секция «Высокоэнергетические пучковые технологии и прецизионное оборудование в производстве изделий электроники и оптики»

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
процесс.pdf377.14 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.