https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1674
Title: | Процесс СВЧ плазмохимического удаления фоторезиста с поверхности кремниевых пластин |
Authors: | Бордусов, С. В. Мадвейко, С. И. Достанко, А. П. |
Keywords: | материалы конференций;СВЧ разряд;СВЧ плазмохимическая обработка |
Issue Date: | 2014 |
Publisher: | БГУИР |
Citation: | Бордусов, С. В. Процесс СВЧ плазмохимического удаления фоторезиста с поверхности кремниевых пластин / С. В. Бордусов, С. И. Мадвейко, А. П. Достанко // Международная научно-техническая конференция, приуроченная к 50-летию МРТИ-БГУИР : материалы конференции, Минск, 18–19 марта 2014 г. : в 2 ч. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: А. Н. Осипов [и др.]. – Минск, 2014. – Ч. 2. – C. 192–193. |
Abstract: | Представлены результаты исследований процесса СВЧ плазмохимического удаления фоторезиста с поверхности кремниевых пластин, который заключается в предварительном нагреве полупроводниковых пластин СВЧ энергией. |
URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1674 |
ISBN: | 978-985-543-038-5 |
Appears in Collections: | Секция «Высокоэнергетические пучковые технологии и прецизионное оборудование в производстве изделий электроники и оптики» |
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
процесс.pdf | 377.14 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.