Базовые технологические операции фотолитографии и оборудование для их реализации : учебно-методическое пособие

Abstract

Рассмотрены физико-химические основы базовых техпроцессов фотолитографии и основные виды соответствующего оборудования. Особое внимание уделено выбору технологических режимов для обеспечения качества как промежуточных операций, так и конечного продукта в целом. Рассмотрены основные причины возникновения типичных браков и предложены наиболее эффективные пути их минимизации. Рекомендовано в качестве учебно-методического пособия по учебным дисциплинам «Технология изготовления интегральных микросхем», «Технологические процессы в микроэлектронике», «Микроэлектронные устройства».