Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/12863
Title: Базовые технологические операции фотолитографии и оборудование для их реализации : учебно-методическое пособие
Authors: Родионов, Ю. А.
Котов, Д. А.
Плебанович, В. И.
Ковальчук, Н. С.
Keywords: учебно-методические пособия;фотолитография;литография
Issue Date: 2017
Publisher: БГУИР
Citation: Родионов, Ю. А. Базовые технологические операции фотолитографии и оборудование для их реализации : учебно-методическое пособие / Ю. А. Родионов и др. – Минск : БГУИР, 2017. – 72 с.
Abstract: Рассмотрены физико-химические основы базовых техпроцессов фотолитографии и основные виды соответствующего оборудования. Особое внимание уделено выбору технологических режимов для обеспечения качества как промежуточных операций, так и конечного продукта в целом. Рассмотрены основные причины возникновения типичных браков и предложены наиболее эффективные пути их минимизации. Рекомендовано в качестве учебно-методического пособия по учебным дисциплинам «Технология изготовления интегральных микросхем», «Технологические процессы в микроэлектронике», «Микроэлектронные устройства».
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/12863
ISBN: 978-985-543-249-5.
Appears in Collections:Кафедра микро- и наноэлектроники

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Rodionov_2017.pdf4.93 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.