Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/12863
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorРодионов, Ю. А.-
dc.contributor.authorКотов, Д. А.-
dc.contributor.authorПлебанович, В. И.-
dc.contributor.authorКовальчук, Н. С.-
dc.date.accessioned2017-05-16T06:22:51Z
dc.date.accessioned2017-07-17T07:47:49Z-
dc.date.available2017-05-16T06:22:51Z
dc.date.available2017-07-17T07:47:49Z-
dc.date.issued2017-
dc.identifier.citationРодионов, Ю. А. Базовые технологические операции фотолитографии и оборудование для их реализации : учебно-методическое пособие / Ю. А. Родионов и др. – Минск : БГУИР, 2017. – 72 с.ru_RU
dc.identifier.isbn978-985-543-249-5.-
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/12863-
dc.description.abstractРассмотрены физико-химические основы базовых техпроцессов фотолитографии и основные виды соответствующего оборудования. Особое внимание уделено выбору технологических режимов для обеспечения качества как промежуточных операций, так и конечного продукта в целом. Рассмотрены основные причины возникновения типичных браков и предложены наиболее эффективные пути их минимизации. Рекомендовано в качестве учебно-методического пособия по учебным дисциплинам «Технология изготовления интегральных микросхем», «Технологические процессы в микроэлектронике», «Микроэлектронные устройства».ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherБГУИРru_RU
dc.subjectучебно-методические пособияru_RU
dc.subjectфотолитографияru_RU
dc.subjectлитографияru_RU
dc.titleБазовые технологические операции фотолитографии и оборудование для их реализации : учебно-методическое пособиеru_RU
dc.typeBookru_RU
Appears in Collections:Кафедра микро- и наноэлектроники

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Rodionov_2017.pdf4.93 MBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.