https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1561| Title: | Исследование изменения профиля эрозии металлических мишеней при DC магнетронном распылении |
| Authors: | Мельников, С. Н. Голосов, Д. А. Завадский, С. М. Достанко, А. П. Кундас, С. П. Тонконогов, Б. А. |
| Keywords: | материалы конференций;магнетронное распыление;ионное распыление;эрозия мишени |
| Issue Date: | 2014 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Мельников, С. Н. Исследование изменения профиля эрозии металлических мишеней при DC магнетронном распылении. // Международная научно-техническая конференция, приуроченная к 50-летию МРТИ-БГУИР (Минск, 18-19 марта 2014 года) : материалы конф. В 2 ч. Ч. 2. - Минск, 2014. - С. 198-199 |
| Abstract: | Приведены результаты экспериментальных исследований динамики изменения профиля эрозии металлических Cu и Ti мишеней при DC магнетронном распылении. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1561 |
| ISBN: | 978-985-543-038-5 |
| Appears in Collections: | Секция «Высокоэнергетические пучковые технологии и прецизионное оборудование в производстве изделий электроники и оптики» |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| исследование изменения.pdf | 375.07 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.