Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1561
Title: Исследование изменения профиля эрозии металлических мишеней при DC магнетронном распылении
Authors: Мельников, С. Н.
Голосов, Д. А.
Завадский, С. М.
Достанко, А. П.
Кундас, С. П.
Тонконогов, Б. А.
Keywords: материалы конференций;магнетронное распыление;ионное распыление;эрозия мишени
Issue Date: 2014
Publisher: БГУИР
Citation: Мельников, С. Н. Исследование изменения профиля эрозии металлических мишеней при DC магнетронном распылении. // Международная научно-техническая конференция, приуроченная к 50-летию МРТИ-БГУИР (Минск, 18-19 марта 2014 года) : материалы конф. В 2 ч. Ч. 2. - Минск, 2014. - С. 198-199
Abstract: Приведены результаты экспериментальных исследований динамики изменения профиля эрозии металлических Cu и Ti мишеней при DC магнетронном распылении.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1561
ISBN: 978-985-543-038-5
Appears in Collections:Секция «Высокоэнергетические пучковые технологии и прецизионное оборудование в производстве изделий электроники и оптики»

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
исследование изменения.pdf375.07 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.