Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1561
Title: Исследование изменения профиля эрозии металлических мишеней при DC магнетронном распылении
Authors: Мельников, С. Н.
Голосов, Д. А.
Завадский, С. М.
Достанко, А. П.
Кундас, С. П.
Тонконогов, Б. А.
Keywords: материалы конференций;магнетронное распыление;ионное распыление;эрозия мишени
Issue Date: 2014
Publisher: БГУИР
Citation: Исследование изменения профиля эрозии металлических мишеней при DC магнетронном распылении / С. Н. Мельников [и др.] // Международная научно-техническая конференция, приуроченная к 50-летию МРТИ-БГУИР : материалы конференции, Минск, 18–19 марта 2014 г. : в 2 ч. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: А. Н. Осипов [и др.]. – Минск, 2014. – С. 198–199.
Abstract: Приведены результаты экспериментальных исследований динамики изменения профиля эрозии металлических Cu и Ti мишеней при DC магнетронном распылении.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1561
ISBN: 978-985-543-038-5
Appears in Collections:Секция «Высокоэнергетические пучковые технологии и прецизионное оборудование в производстве изделий электроники и оптики»

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
исследование изменения.pdf375.07 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.