| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Мельников, С. Н. | - |
| dc.contributor.author | Голосов, Д. А. | - |
| dc.contributor.author | Завадский, С. М. | - |
| dc.contributor.author | Достанко, А. П. | - |
| dc.contributor.author | Кундас, С. П. | - |
| dc.contributor.author | Тонконогов, Б. А. | - |
| dc.date.accessioned | 2014-11-20T09:04:21Z | |
| dc.date.accessioned | 2017-07-19T09:26:39Z | - |
| dc.date.available | 2014-11-20T09:04:21Z | |
| dc.date.available | 2017-07-19T09:26:39Z | - |
| dc.date.issued | 2014 | - |
| dc.identifier.citation | Мельников, С. Н. Исследование изменения профиля эрозии металлических мишеней при DC магнетронном распылении. // Международная научно-техническая конференция, приуроченная к 50-летию МРТИ-БГУИР (Минск, 18-19 марта 2014 года) : материалы конф. В 2 ч. Ч. 2. - Минск, 2014. - С. 198-199 | ru_RU |
| dc.identifier.isbn | 978-985-543-038-5 | - |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1561 | - |
| dc.description.abstract | Приведены результаты экспериментальных исследований динамики изменения профиля эрозии металлических Cu и Ti мишеней при DC магнетронном распылении. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | магнетронное распыление | ru_RU |
| dc.subject | ионное распыление | ru_RU |
| dc.subject | эрозия мишени | ru_RU |
| dc.title | Исследование изменения профиля эрозии металлических мишеней при DC магнетронном распылении | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| Appears in Collections: | Секция «Высокоэнергетические пучковые технологии и прецизионное оборудование в производстве изделий электроники и оптики»
|
