https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1671| Title: | Нанесение пленок цирконата-титаната свинца методом ВЧ магнетронного распыления |
| Authors: | Евстафьева, М. В. Голосов, Д. А. Завадский, С. М. |
| Keywords: | материалы конференций;сегнетоэлектрики;ВЧ магнетронное распыление |
| Issue Date: | 2014 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Евстафьева, М. В. Нанесение пленок цирконата-титаната свинца методом ВЧ магнетронного распыления. // Международная научно-техническая конференция, приуроченная к 50-летию МРТИ-БГУИР (Минск, 18-19 марта 2014 года) : материалы конф. В 2 ч. Ч. 2. - Минск, 2014. - С. 180-181 |
| Abstract: | В последнее время бурное развитие микроэлектроники поставило перед технологами новую проблему - необходимость поиска новых диэлектрических материалов для создания конденсаторных структур. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1671 |
| ISBN: | 978-985-543-038-5 |
| Appears in Collections: | Секция «Высокоэнергетические пучковые технологии и прецизионное оборудование в производстве изделий электроники и оптики» |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| нанесение.pdf | 411.77 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.