Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1671
Title: Нанесение пленок цирконата-титаната свинца методом ВЧ магнетронного распыления
Authors: Евстафьева, М. В.
Голосов, Д. А.
Завадский, С. М.
Keywords: материалы конференций;сегнетоэлектрики;ВЧ магнетронное распыление
Issue Date: 2014
Publisher: БГУИР
Citation: Евстафьева, М. В. Нанесение пленок цирконата-титаната свинца методом ВЧ магнетронного распыления / М. В. Евстафьева, Д. А. Голосов, С. М. Завадский // Международная научно-техническая конференция, приуроченная к 50-летию МРТИ-БГУИР : материалы конференции, Минск, 18–19 марта 2014 г. : в 2 ч. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: А. Н. Осипов [и др.]. – Минск, 2014. – Ч. 2. – C. 180–181.
Abstract: В последнее время бурное развитие микроэлектроники поставило перед технологами новую проблему - необходимость поиска новых диэлектрических материалов для создания конденсаторных структур.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1671
ISBN: 978-985-543-038-5
Appears in Collections:Секция «Высокоэнергетические пучковые технологии и прецизионное оборудование в производстве изделий электроники и оптики»

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
нанесение.pdf411.77 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.