Skip navigation
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1671
Название: Нанесение пленок цирконата-титаната свинца методом ВЧ магнетронного распыления
Авторы: Евстафьева, М. В.
Голосов, Д. А.
Завадский, С. М.
Ключевые слова: материалы конференций;сегнетоэлектрики;ВЧ магнетронное распыление
Дата публикации: 2014
Издательство: БГУИР
Описание: Евстафьева, М. В. Нанесение пленок цирконата-титаната свинца методом ВЧ магнетронного распыления. // Международная научно-техническая конференция, приуроченная к 50-летию МРТИ-БГУИР (Минск, 18-19 марта 2014 года) : материалы конф. В 2 ч. Ч. 2. - Минск, 2014. - С. 180-181
Аннотация: В последнее время бурное развитие микроэлектроники поставило перед технологами новую проблему - необходимость поиска новых диэлектрических материалов для создания конденсаторных структур.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1671
ISBN: 978-985-543-038-5
Располагается в коллекциях:Секция «Высокоэнергетические пучковые технологии и прецизионное оборудование в производстве изделий электроники и оптики»

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
нанесение.pdf411.77 kBAdobe PDFОткрыть
Показать полное описание Просмотр статистики Google Scholar

Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.