| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Евстафьева, М. В. | - |
| dc.contributor.author | Голосов, Д. А. | - |
| dc.contributor.author | Завадский, С. М. | - |
| dc.date.accessioned | 2014-11-25T07:25:42Z | - |
| dc.date.accessioned | 2017-07-19T09:26:38Z | - |
| dc.date.available | 2014-11-25T07:25:42Z | - |
| dc.date.available | 2017-07-19T09:26:38Z | - |
| dc.date.issued | 2014 | - |
| dc.identifier.citation | Евстафьева, М. В. Нанесение пленок цирконата-титаната свинца методом ВЧ магнетронного распыления / М. В. Евстафьева, Д. А. Голосов, С. М. Завадский // Международная научно-техническая конференция, приуроченная к 50-летию МРТИ-БГУИР : материалы конференции, Минск, 18–19 марта 2014 г. : в 2 ч. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: А. Н. Осипов [и др.]. – Минск, 2014. – Ч. 2. – C. 180–181. | ru_RU |
| dc.identifier.isbn | 978-985-543-038-5 | - |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1671 | - |
| dc.description.abstract | В последнее время бурное развитие микроэлектроники поставило перед технологами новую проблему - необходимость поиска новых диэлектрических материалов для создания конденсаторных структур. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | сегнетоэлектрики | ru_RU |
| dc.subject | ВЧ магнетронное распыление | ru_RU |
| dc.title | Нанесение пленок цирконата-титаната свинца методом ВЧ магнетронного распыления | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| Appears in Collections: | Секция «Высокоэнергетические пучковые технологии и прецизионное оборудование в производстве изделий электроники и оптики»
|
