| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Евстафьева, М. В. | - |
| dc.contributor.author | Голосов, Д. А. | - |
| dc.contributor.author | Завадский, С. М. | - |
| dc.date.accessioned | 2014-11-25T07:25:42Z | |
| dc.date.accessioned | 2017-07-19T09:26:38Z | - |
| dc.date.available | 2014-11-25T07:25:42Z | |
| dc.date.available | 2017-07-19T09:26:38Z | - |
| dc.date.issued | 2014 | - |
| dc.identifier.citation | Евстафьева, М. В. Нанесение пленок цирконата-титаната свинца методом ВЧ магнетронного распыления. // Международная научно-техническая конференция, приуроченная к 50-летию МРТИ-БГУИР (Минск, 18-19 марта 2014 года) : материалы конф. В 2 ч. Ч. 2. - Минск, 2014. - С. 180-181 | ru_RU |
| dc.identifier.isbn | 978-985-543-038-5 | - |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1671 | - |
| dc.description.abstract | В последнее время бурное развитие микроэлектроники поставило перед технологами новую проблему - необходимость поиска новых диэлектрических материалов для создания конденсаторных структур. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | сегнетоэлектрики | ru_RU |
| dc.subject | ВЧ магнетронное распыление | ru_RU |
| dc.title | Нанесение пленок цирконата-титаната свинца методом ВЧ магнетронного распыления | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| Appears in Collections: | Секция «Высокоэнергетические пучковые технологии и прецизионное оборудование в производстве изделий электроники и оптики»
|
