https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1954
Название: | Методы повышения надежности омических контактов в дисплейных МЭМС на основе алюмооксидной технологии |
Другие названия: | Methods of increasing of ohmic contacts reliability for displeys mems on a basis of aluminum–oxide technology |
Авторы: | Тымощик, А. С. Черных, А. Г. Волчек, С. А. |
Ключевые слова: | доклады БГУИР;алюмооксидная технология;сплавы алюминия;редкоземельные металлы;микродисплейные устройства;омический контакт |
Дата публикации: | 2011 |
Издательство: | БГУИР |
Описание: | Тымощик, А. С. Методы повышения надежности омических контактов в дисплейных МЭМС на основе алюмооксидной технологии / А. С. Тымощик, А. Г. Черных, С. А. Волчек // Доклады БГУИР. - 2011. - № 4 (58). - С. 63 - 68. |
Аннотация: | В работе рассматриваются вопросы повышения надежности омических контактов металлических слоев к мелкозалегающим p–n-переходам при высокой интеграции дисплейных оптических МЭМС-элементов, изготавливаемых по алюмооксидной технологии с управляющей схемой на едином кристалле. Показано, что добавки редкоземельных металлов, в частности гольмия, в кремнийсодержащие пленки алюминия оказывают на них модифицирующее действие. Введение редкоземельных металлов резко снижает вероятность образования ямок травления, делая возможным создание контактов к мелкозалегающим p–n-переходам с малыми размерами контактного окна. |
URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1954 |
Располагается в коллекциях: | №4 (58) |
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Tymoshchik_Metody.PDF | 2.48 MB | Adobe PDF | Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.