Методы повышения надежности омических контактов в дисплейных МЭМС на основе алюмооксидной технологии

Abstract

В работе рассматриваются вопросы повышения надежности омических контактов металлических слоев к мелкозалегающим p–n-переходам при высокой интеграции дисплейных оптических МЭМС-элементов, изготавливаемых по алюмооксидной технологии с управляющей схемой на едином кристалле. Показано, что добавки редкоземельных металлов, в частности гольмия, в кремнийсодержащие пленки алюминия оказывают на них модифицирующее действие. Введение редкоземельных металлов резко снижает вероятность образования ямок травления, делая возможным создание контактов к мелкозалегающим p–n-переходам с малыми размерами контактного окна.