| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Тымощик, А. С. | - |
| dc.contributor.author | Черных, А. Г. | - |
| dc.contributor.author | Волчек, С. А. | - |
| dc.date.accessioned | 2014-12-04T14:18:06Z | - |
| dc.date.accessioned | 2017-07-12T11:44:34Z | - |
| dc.date.available | 2014-12-04T14:18:06Z | - |
| dc.date.available | 2017-07-12T11:44:34Z | - |
| dc.date.issued | 2011 | - |
| dc.identifier.citation | Тымощик, А. С. Методы повышения надежности омических контактов в дисплейных МЭМС на основе алюмооксидной технологии = Methods of increasing of ohmic contacts reliability for displeys mems on a basis of aluminum-oxide technology / А. С. Тымощик, А. Г. Черных, С. А. Волчек // Доклады БГУИР. – 2011. – № 4 (58). – С. 63–68. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1954 | - |
| dc.description.abstract | В работе рассматриваются вопросы повышения надежности омических контактов металлических слоев к мелкозалегающим p–n-переходам при высокой интеграции дисплейных оптических МЭМС-элементов, изготавливаемых по алюмооксидной технологии с управляющей схемой на едином кристалле. Показано, что добавки редкоземельных металлов, в частности гольмия, в кремнийсодержащие пленки алюминия оказывают на них модифицирующее действие. Введение редкоземельных металлов резко снижает вероятность образования ямок травления, делая возможным создание контактов к мелкозалегающим p–n-переходам с
малыми размерами контактного окна. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | доклады БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | алюмооксидная технология | ru_RU |
| dc.subject | сплавы алюминия | ru_RU |
| dc.subject | редкоземельные металлы | ru_RU |
| dc.subject | микродисплейные устройства | ru_RU |
| dc.subject | омический контакт | ru_RU |
| dc.title | Методы повышения надежности омических контактов в дисплейных МЭМС на основе алюмооксидной технологии | ru_RU |
| dc.title.alternative | Methods of increasing of ohmic contacts reliability for displeys mems on a basis of aluminum-oxide technology | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| Appears in Collections: | №4 (58)
|
