Skip navigation
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/2329
Название: Лабораторный практикум по дисциплинам «Технология изделий интегральной электроники», «Специальное технологическое оборудование» для студентов специальностей «Проектирование и производство РЭС», «Электронно-оптические системы и технологии». Ч. 2
Авторы: Емельянов, В. А.
Ануфриев, Л. П.
Достанко, А. П.
Ланин, В. Л.
Глухманчук, В. В.
Завадский, С. М.
Кайдов, О. Л.
Коробко, А. О.
Гвоздевич, С. В.
Сивец, В. И.
Шамягин, В. П.
Ключевые слова: лабораторные практикумы
изделия интегральной электроники
технологическое оборудование
Дата публикации: 2007
Издательство: Интегралполиграф
Библиографическое описание: Емельянов, В. А. Лабораторный практикум по дисциплинам «Технология изделий интегральной электроники», «Специальное технологическое оборудование» для студентов специальностей «Проектирование и производство РЭС», «Электронно-оптические системы и технологии». Ч. 2 / В. А. Емельянов и др.; под ред. А. П. Достанко. – Минск : Интегралполиграф, 2007. – 60 с. : ил.
Краткий осмотр (реферат): Лабораторный практикум включает исследования процессов формирования легированных слоев в кремнии ионной имплантацией на установке «ЛАДА-30», эпитаксиальных слоев кремниевых структур и контроля их параметров, технологии изготовления биполярных транзисторов и контроля их параметров. Предназначен для закрепления и углубления теоретических знаний, приобретения практических навыков работы с технологическим оборудованием и приборами контроля параметров кремниевых структур.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): http://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/2329
https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/2329
Располагается в коллекциях:Кафедра электронной техники и технологии

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
Emelyanov_Ch2.pdf1,88 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.