Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/2329
Title: Лабораторный практикум по дисциплинам «Технология изделий интегральной электроники», «Специальное технологическое оборудование» для студентов специальностей «Проектирование и производство РЭС», «Электронно-оптические системы и технологии». Ч. 2
Authors: Емельянов, В. А.
Ануфриев, Л. П.
Достанко, А. П.
Ланин, В. Л.
Глухманчук, В. В.
Завадский, С. М.
Кайдов, О. Л.
Коробко, А. О.
Гвоздевич, С. В.
Сивец, В. И.
Шамягин, В. П.
Keywords: лабораторные практикумы;изделия интегральной электроники;технологическое оборудование
Issue Date: 2007
Publisher: Интегралполиграф
Citation: Емельянов, В. А. Лабораторный практикум по дисциплинам «Технология изделий интегральной электроники», «Специальное технологическое оборудование» для студентов специальностей «Проектирование и производство РЭС», «Электронно-оптические системы и технологии». Ч. 2 / В. А. Емельянов и др.; под ред. А. П. Достанко. – Минск : Интегралполиграф, 2007. – 60 с. : ил.
Abstract: Лабораторный практикум включает исследования процессов формирования легированных слоев в кремнии ионной имплантацией на установке «ЛАДА-30», эпитаксиальных слоев кремниевых структур и контроля их параметров, технологии изготовления биполярных транзисторов и контроля их параметров. Предназначен для закрепления и углубления теоретических знаний, приобретения практических навыков работы с технологическим оборудованием и приборами контроля параметров кремниевых структур.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/2329
Appears in Collections:Кафедра электронной техники и технологии

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Emelyanov_Ch2.pdf1.88 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.