https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/2329| Title: | Лабораторный практикум по дисциплинам «Технология изделий интегральной электроники», «Специальное технологическое оборудование» для студентов специальностей «Проектирование и производство РЭС», «Электронно-оптические системы и технологии». Ч. 2 |
| Authors: | Емельянов, В. А. Ануфриев, Л. П. Достанко, А. П. Ланин, В. Л. Глухманчук, В. В. Завадский, С. М. Кайдов, О. Л. Коробко, А. О. Гвоздевич, С. В. Сивец, В. И. Шамягин, В. П. |
| Keywords: | лабораторные практикумы;изделия интегральной электроники;технологическое оборудование |
| Issue Date: | 2007 |
| Publisher: | Интегралполиграф |
| Citation: | Емельянов, В. А. Лабораторный практикум по дисциплинам «Технология изделий интегральной электроники», «Специальное технологическое оборудование» для студентов специальностей «Проектирование и производство РЭС», «Электронно-оптические системы и технологии». Ч. 2 / В. А. Емельянов и др.; под ред. А. П. Достанко. – Минск : Интегралполиграф, 2007. – 60 с. : ил. |
| Abstract: | Лабораторный практикум включает исследования процессов формирования легированных слоев в кремнии ионной имплантацией на установке «ЛАДА-30», эпитаксиальных слоев кремниевых структур и контроля их параметров, технологии изготовления биполярных транзисторов и контроля их параметров. Предназначен для закрепления и углубления теоретических знаний, приобретения практических навыков работы с технологическим оборудованием и приборами контроля параметров кремниевых структур. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/2329 |
| Appears in Collections: | Кафедра электронной техники и технологии |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Emelyanov_Ch2.pdf | 1.88 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.