Skip navigation
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/2330
Название: Лабораторный практикум по дисциплинам «Технология изделий интегральной электроники», «Специальное технологическое оборудование» для студентов специальностей «Проектирование и производство РЭС», «Электронно-оптические системы и технологии». Ч. 3.
Авторы: Емельянов, В. А.
Ануфриев, Л. П.
Достанко, А. П.
Бордусов, С. В.
Гурский, Л. И.
Ланин, В. Л.
Турцевич, А. С.
Соловьев, Я. А.
Портнов, Л. Я.
Коробко, А. О.
Король, И. П.
Борисик, А. В.
Осипов, А. А.
Ключевые слова: лабораторные практикумы
изделия интегральной электроники
технологическое оборудование
Дата публикации: 2007
Издательство: Интегралполиграф
Библиографическое описание: Емельянов, В. А. Лабораторный практикум по дисциплинам «Технология изделий интегральной электроники», «Специальное технологическое оборудование» для студентов специальностей «Проектирование и производство РЭС», «Электронно-оптические системы и технологии». Ч. 3. / В. А. Емельянов и др.; под ред. А. П. Достанко. – Минск : Интегралполиграф, 2007. –76 с. : ил.
Краткий осмотр (реферат): Лабораторный практикум включает в себя исследования процессов формирования конфигурации элементов интегральных схем на поверхности полупроводниковых пластин проекционной литографией на установке ЭМ 584А, процессов ионно-лучевого, термовакуумного, катодного, магнетронного нанесения тонких пленок, а также герметизации интегральных схем в пластмассовые корпуса . Предназначен для закрепления и углубления теоретических знаний, приобретения практических навыков работы с технологическим оборудованием и приборами контроля параметров кремниевых структур.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): http://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/2330
https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/2330
Располагается в коллекциях:Кафедра электронной техники и технологии

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
Emelyanov_Ch3.pdf7,75 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.