Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/2330
Title: Лабораторный практикум по дисциплинам «Технология изделий интегральной электроники», «Специальное технологическое оборудование» для студентов специальностей «Проектирование и производство РЭС», «Электронно-оптические системы и технологии». Ч. 3.
Authors: Емельянов, В. А.
Ануфриев, Л. П.
Достанко, А. П.
Бордусов, С. В.
Гурский, Л. И.
Ланин, В. Л.
Турцевич, А. С.
Соловьев, Я. А.
Портнов, Л. Я.
Коробко, А. О.
Король, И. П.
Борисик, А. В.
Осипов, А. А.
Keywords: лабораторные практикумы;изделия интегральной электроники;технологическое оборудование
Issue Date: 2007
Publisher: Интегралполиграф
Citation: Емельянов, В. А. Лабораторный практикум по дисциплинам «Технология изделий интегральной электроники», «Специальное технологическое оборудование» для студентов специальностей «Проектирование и производство РЭС», «Электронно-оптические системы и технологии». Ч. 3. / В. А. Емельянов и др.; под ред. А. П. Достанко. – Минск : Интегралполиграф, 2007. –76 с. : ил.
Abstract: Лабораторный практикум включает в себя исследования процессов формирования конфигурации элементов интегральных схем на поверхности полупроводниковых пластин проекционной литографией на установке ЭМ 584А, процессов ионно-лучевого, термовакуумного, катодного, магнетронного нанесения тонких пленок, а также герметизации интегральных схем в пластмассовые корпуса . Предназначен для закрепления и углубления теоретических знаний, приобретения практических навыков работы с технологическим оборудованием и приборами контроля параметров кремниевых структур.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/2330
Appears in Collections:Кафедра электронной техники и технологии

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Emelyanov_Ch3.pdf7.75 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.