Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/2330
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorЕмельянов, В. А.-
dc.contributor.authorАнуфриев, Л. П.-
dc.contributor.authorДостанко, А. П.-
dc.contributor.authorБордусов, С. В.-
dc.contributor.authorГурский, Л. И.-
dc.contributor.authorЛанин, В. Л.-
dc.contributor.authorТурцевич, А. С.-
dc.contributor.authorСоловьев, Я. А.-
dc.contributor.authorПортнов, Л. Я.-
dc.contributor.authorКоробко, А. О.-
dc.contributor.authorКороль, И. П.-
dc.contributor.authorБорисик, А. В.-
dc.contributor.authorОсипов, А. А.-
dc.date.accessioned2014-12-19T12:22:20Z
dc.date.accessioned2017-07-13T11:06:08Z-
dc.date.available2014-12-19T12:22:20Z
dc.date.available2017-07-13T11:06:08Z-
dc.date.issued2007-
dc.identifier.citationЕмельянов, В. А. Лабораторный практикум по дисциплинам «Технология изделий интегральной электроники», «Специальное технологическое оборудование» для студентов специальностей «Проектирование и производство РЭС», «Электронно-оптические системы и технологии». Ч. 3. / В. А. Емельянов и др.; под ред. А. П. Достанко. – Минск : Интегралполиграф, 2007. –76 с. : ил.ru_RU
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/2330-
dc.description.abstractЛабораторный практикум включает в себя исследования процессов формирования конфигурации элементов интегральных схем на поверхности полупроводниковых пластин проекционной литографией на установке ЭМ 584А, процессов ионно-лучевого, термовакуумного, катодного, магнетронного нанесения тонких пленок, а также герметизации интегральных схем в пластмассовые корпуса . Предназначен для закрепления и углубления теоретических знаний, приобретения практических навыков работы с технологическим оборудованием и приборами контроля параметров кремниевых структур.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherИнтегралполиграфru_RU
dc.subjectлабораторные практикумыru_RU
dc.subjectизделия интегральной электроникиru_RU
dc.subjectтехнологическое оборудованиеru_RU
dc.titleЛабораторный практикум по дисциплинам «Технология изделий интегральной электроники», «Специальное технологическое оборудование» для студентов специальностей «Проектирование и производство РЭС», «Электронно-оптические системы и технологии». Ч. 3.ru_RU
dc.typeBookru_RU
Appears in Collections:Кафедра электронной техники и технологии

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Emelyanov_Ch3.pdf7.75 MBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.