Исследовать закономерности электрохимических процессов формирования канавок и отверстий с высоким аспектным числом внутри кремниевых подложек и разработать технологию создания трехмерных элементов интегральных микросхем на основе этих процессов : отчет о НИР (заключ.)

Лабунов, В. А.; Лазарук, С. К.; Долбик, А. В.; Кацуба, П. С.; Купреева, О. В.

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27759

Название:	Исследовать закономерности электрохимических процессов формирования канавок и отверстий с высоким аспектным числом внутри кремниевых подложек и разработать технологию создания трехмерных элементов интегральных микросхем на основе этих процессов : отчет о НИР (заключ.)
Авторы:	Лабунов, В. А. Лазарук, С. К. Долбик, А. В. Кацуба, П. С. Купреева, О. В.
Дата публикации:	2014
Издательство:	БГУИР
Описание:	Исследовать закономерности электрохимических процессов формирования канавок и отверстий с высоким аспектным числом внутри кремниевых подложек и разработать технологию создания трехмерных элементов интегральных микросхем на основе этих процессов : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель В. А. Лабунов ; отв. исполнитель С. К. Лазарук . – Минск, 2014. – 58 с. - № ГР 20120761
URI:	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27759
Располагается в коллекциях:	Отчеты о НИР 2014

Файлы этого ресурса:

Файл	Описание	Размер	Формат
№ ГР 20120761 (11-306).pdf Restricted Access		8.44 MB	Adobe PDF	Открыть Запрос копии

Показать полное описание Просмотр статистики Google Scholar

Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.