Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/30939
Title: Формирование острия кремниевых зондов для сканирующих зондовых микроскопов
Other Titles: Formation of silicon tips for scanning probe microscopes
Authors: Циркунова, Н. Г.
Соловьев, Я. А.
Сергеев, О. В.
Борисенко, В. Е.
Tsirkunova, N. G.
Solov’ev, J. A.
Sergeev, O. V.
Borisenko, V. E.
Keywords: доклады БГУИР
зондовые датчики
технология изготовления зондов
СЗМ
Issue Date: 2005
Publisher: БГУИР
Citation: Формирование острия кремниевых зондов для сканирующих зондовых микроскопов / Н. Г. Циркунова и другие // Доклады БГУИР. - 2005. - № 3 (11). - С. 59 - 64.
Abstract: Проведены исследования и разработана методика формирования кремниевых зондов с тре- буемой конфигурацией острия для сканирующих зондовых микроскопов. Зонды создавали на пластинах монокристаллического кремния с ориентацией (100) и (111). Установлено, что анизотропное селективное жидкостное травление (травитель для кремния с ориентацией (100) — 5% водный раствор КОН, для кремния с ориентацией (111) — раствор HF:HNO3:CH3COOH), как и плазмохимическое травление кремния в среде SF6, по отдельности не могут обеспечить формирование острия зондов с параметрами на уровне мировых аналогов. Только их комбинация в сочетании с использованием многослойной маски дает возможность получать зонды с заданными параметрами.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/30939
Appears in Collections:№3 (11)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Tsirkunova_Formation.pdf431,07 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.