Формирование острия кремниевых зондов для сканирующих зондовых микроскопов

Abstract

Проведены исследования и разработана методика формирования кремниевых зондов с тре- буемой конфигурацией острия для сканирующих зондовых микроскопов. Зонды создавали на пластинах монокристаллического кремния с ориентацией (100) и (111). Установлено, что анизотропное селективное жидкостное травление (травитель для кремния с ориентацией (100) — 5% водный раствор КОН, для кремния с ориентацией (111) — раствор HF:HNO3:CH3COOH), как и плазмохимическое травление кремния в среде SF6, по отдельности не могут обеспечить формирование острия зондов с параметрами на уровне мировых аналогов. Только их комбинация в сочетании с использованием многослойной маски дает возможность получать зонды с заданными параметрами.