https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/30939
Название: | Формирование острия кремниевых зондов для сканирующих зондовых микроскопов |
Другие названия: | Formation of silicon tips for scanning probe microscopes |
Авторы: | Циркунова, Н. Г. Соловьев, Я. А. Сергеев, О. В. Борисенко, В. Е. |
Ключевые слова: | доклады БГУИР;зондовые датчики;технология изготовления зондов;СЗМ |
Дата публикации: | 2005 |
Издательство: | БГУИР |
Описание: | Формирование острия кремниевых зондов для сканирующих зондовых микроскопов / Н. Г. Циркунова и другие // Доклады БГУИР. - 2005. - № 3 (11). - С. 59 - 64. |
Аннотация: | Проведены исследования и разработана методика формирования кремниевых зондов с тре- буемой конфигурацией острия для сканирующих зондовых микроскопов. Зонды создавали на пластинах монокристаллического кремния с ориентацией (100) и (111). Установлено, что анизотропное селективное жидкостное травление (травитель для кремния с ориентацией (100) — 5% водный раствор КОН, для кремния с ориентацией (111) — раствор HF:HNO3:CH3COOH), как и плазмохимическое травление кремния в среде SF6, по отдельности не могут обеспечить формирование острия зондов с параметрами на уровне мировых аналогов. Только их комбинация в сочетании с использованием многослойной маски дает возможность получать зонды с заданными параметрами. |
URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/30939 |
Располагается в коллекциях: | №3 (11) |
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Tsirkunova_Formation.pdf | 431.07 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.