Система перемещений для оптико-механического оборудования микроэлектроники

Abstract

При производстве элементной базы электронных интегрированных устройств необходимо использовать генераторы формирования планарных структур, таких как установка, производимая концерном ПЛАНАР ЭМ-5109. Для расширения функциональных возможностей генераторов с учетом современных требований по защите информации возникает потребность в использовании новых исполнительных систем пространственного позиционирования объекта обработки, в качестве которых наиболее перспективными являются системы перемещений на трех планарных позиционерах. В работе рассмотрена структура многокоординатной системы перемещений для нужного позиционирования объекта, представлена структура системы управления.